| |
|
|
| |
Диффузоры высокого давления AeroTrak моделей 7950/7955
Назначение
Диффузоры высокого давления HPD моделей 7950/7955 предназначены для использования со счетчиками частиц AeroTrak с целью измерения концентрации частиц по классам размеров в сжатых газах высокого давления.
Поскольку счетчики не могут работать с газами высокого давления, требуется диффузор для уменьшения давления сжатого газа для дальнейшего контроля необходимой чистоты с помощью счетчика.
Особенности и преимущества
Все модели:
- Для мониторинга и тестирования согласно нормативам ISO 8573-1 и SEMI E49.8;
- Уменьшение давления газа от более 120 psi (8.27 bar) до уровня порядка атмосферного давления;
- Совместимость со счетчиками AeroTrak (включая стационарные и переносные модели) и с конденсационным счетчиком модели 9001;
- Не требуется ручная настройка и калибровка;
- для использования с чистым сухим воздухом (CDA), азотом (N2) и аргоном (Ar);.
- Корпус из пассивированной нержавеющей стали защищает от химикатов для обработки чистого помещения;.
- HEPA-фильтр на выходе защищает от загрязнения помещения при отключении диффузора от источника сжатого воздуха.
|
Модель 7950:
- номинальный расход 2,83 л/мин.
Модель 7955:
- номинальный расход 28,3 л/мин;
- включает отбор воздуха при использовании сжатых газов с низкой влажностью.
|
Технические характеристики
| |
Модель 7950 |
Модель 7955 |
| Расход |
2.83 – 3.50 л/мин |
28.3 л/мин |
| Диапазон давления |
30 – 120 psi (2.06-8.27 bar) |
| Максимальное давление для продувки |
150 psi (10.34 bar) |
| Типы подаваемого газа |
Сухой чистый воздух, N2, Ar |
| Габаритные размеры |
36.0 x 19.4x 9.5 см |
48.3 x 19.4x15.2 см |
| Масса |
3.4 кг |
5.6 кг |
| Фильтр сброса |
HEPA (>99.97% для частиц 0.3 мкм) |
| Фильтр отбора воздуха |
Не исп. |
HEPA (>99.97% для частиц 0.3 мкм) |
| Расход отбираемого воздуха |
Не исп. |
2.83 – 5.86 л/мин |
| Входной фитинг |
¼-дюйма наружн. VCR лицевое уплотнение(316SS) |
| Выходной фитинг |
¼-дюйма штуцер для трубки (316L VAR) |
½-дюйма штуцер для трубки (316L VAR) |
| Материал |
Пассивированный корпус 304 нерж. сталь |
| VCR прокладка, Ni |
| Критическое отверстие 316L VAR нерж. сталь |
|
|
| |
|
|
|
