Испарители Turbo для осаждения частиц

Данный график иллюстрирует стабильность работы испарителей Turbo

Компания MSP, входящая в группу компаний TSI, разработала новую линейку испарителей для испарения жидких сред в газовую фазу с осаждением химических веществ (CVD) и осаждением атомного слоя (ALD), что используется в производстве полупроводников и при промышленном нанесении покрытий.

Особенности и преимущества

• Выше пропускная способность и меньше отходов
  Испарители MSP Turbo II™ имеют высокую пропускную способность, так как обеспечивают более высокие концентрацию пара и скорости осаждения и травления. В случае, если испаритель используется вместе с контроллером жидкостного потока MSP Turbo™ (LFC), уменьшается время отклика, потери жидкости и время обработки пластины.
• Размер в два раза меньше
  Масштабные исследования в области термодинамики и механики потоков были сфокусированы на повышении скорости испарения жидкости, что привело к возможности повысить выход пара до 200 % при уменьшении размера теплообменника до 50 % исходной величины. Закон Мора был продемонстрирован в технологии испарения.
• Высокая стабильность
  Испарители Turbo II™ обеспечивают стабильную концентрацию на выходе, что позволяет их использовать даже в процессах, требующих высокую чувствительность, включая PECVD. Высоко стабильная надежная генерация пара в течение длительного времени критична для многих областей применения.
• Длительный срок эксплуатации
  Испарители MSP Turbo II™ разработаны с учетом необходимости продлить срок эксплуатации оборудования или системы в целом, где они установлены. Они являются необходимым компонентом такой системы, а не просто ее расходным материалом.
• Низкая стоимость владения
  Большой срок эксплуатации, более высокая производительность и минимальные потери жидкости приводят к значительному сокращению эксплуатационных затрат по отношению к сроку эксплуатации (стоимости владения). Испарители Turbo II™ зачастую требуют меньше текущего обслуживания, чем конкурирующие модели.
• Отличная и легкая работа в сложных случаях испарения жидкостей
  С помощью Turbo II™ может быть выполнено испарение широкого круга жидкостей. Такая гибкость позволяет осуществить испарение трудных прекурсоров, таких, как жидкости с низким давлением пара, которые могут иметь ограниченный набор условий между термическим распадом и испарением при необходимых для процесса концентрациях.
• Передовая технология испарения
  Испарители MSP Turbo II™ используют технологию капельного испарения и прямого инжектирования жидкости (DLI), разработанную для удовлетворения современных технических запросов. Для применений с тонкими пленками наличие стабильного и равномерного пара приводит к получению тонких пленок более высокого качества и более высокой производительности труда по выпуску необходимых пластин.

Доступные модели

Технические характеристики